Tornado 2000系列检测设备针对半导体制程中光学检测需求开发设计。应用于中道、后道 工艺表面2D、3D 缺陷检测。采用先进的图形处理技术和成像系统pg电子模拟器,具有测检测度高、速度快、应用灵活等特点。
TORNADO3000系列检测设备针对半导体制程中光学检测需求开发设计。应用于前道中道工艺表面2D 缺陷检测。采用先进的图形处理技术和成像系统,具有测检测度高、速度快、应用灵活等特点。
Tornado 2100系列检测设备针对半导体制程中关键尺寸、套刻精度量测。用于晶圆制造过程中关键尺寸CD及套刻OVL的自动测量。
Reticle 是芯片制造的母版, 对缺陷的要求极其严格,掩模的缺陷主要分为掩模制造过程的缺陷和掩模使用过程中产生的缺陷, 两类缺陷都需要及时检测。
维普光电认为客户、供应商、公司员工等一切和自身有合作关系的单位和个人都是自己的合作伙伴,并只有通过努力为合作伙伴创造价值,才能体现自身的价值并获得发展和成功。
维普光电认为诚信是一切合作的基础,宽容是解决问题的前提,创新是发展事业的利器,服务是创造价值的根本。
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